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膜厚儀

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日本精工膜厚儀SFT-9300系列

 
 
日本精工膜厚儀SFT-9300系列
為了滿足測量微小區域及高精度的需求,安裝了“SFT”優秀的75W高功率X射線管。 快速的對應日益微小化的電子產品,更擴大了X射線熒光鍍層厚度測量儀的應用。
 
儀器簡介:
為了滿足測量微小區域及高精度的需求,安裝了“SFT”優秀的75W高功率X射線管。
快速的對應日益微小化的電子產品,更擴大了X射線熒光鍍層厚度測量儀的應用。

技術參數

序號
項 目
參 數
1
可測量元素
原子序數22(Ti)~83(Bi)
2
X射線源
小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶)
管電壓: 50kV 管電流: 1.5mA Be 窗
3
濾波器
一次濾波器:Mo
二次濾波器:Co (自動切換)
4
照射方式
上方垂直照射方式
5
檢測器
比例計數管
6
準直器
方型:0.025×0.2mm 0.2×0.025mm
圓形:Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm
7
安全性能
樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動診斷功能
8
樣品圖像對焦方式
激光自動對焦
9
樣品觀察
彩色CCD攝像頭 倍率光學器 鹵素燈照明
10
樣品平臺大小及重量
SFT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg
SFT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg
SFT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg
11
重 量
SFT9300/SFT9350:125kg (不含電腦)SFT9355:130kg(不含電腦)
12
修正功能
底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正
13
測量報告書制作
配備MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自動制作測量報告書) 測量能譜與樣品圖像保存功能


主要特點:
1.75W高功率X射線管
 能夠提高X射線的生產效率,實現高精度的測量,有效縮短測量時間,只需過去的1/4
2.超微小型準直器
 除了搭載了標準配置的50μm準直器,還配備了測量微小部位用的15μm準直器
 對應所選擇準直器的實際X射線光束照射的尺寸,可以顯示在樣品畫面上
3.倍率式光學系
可以準確地對微小部分進行對焦,還可以對應各測量點間有高低的樣品
4.實現了高精度自動X-Y-Z樣品臺與圖像處理軟件的高速自動測量
5.擁有防沖功能
6.搭載高精度樣品平臺,更可測量大型線路板(SFT9355)
7.自動對焦功能
配備激光自動對焦功能,能夠準確對焦,提高測量效率。
8.即時生成測量報告的便捷性
運用搭載的Microsoft Word® Excel® 可以簡單輕松得到制作報告。
9.搭載了高功率X射線管
10.擁有自動測量軟件以及中心搜索軟件
11.搭載了薄膜FP法軟件、圖像處理軟件以及塊體FP法軟件
(1).可實現高精度幾高效率的微小樣品檢測最小樣品尺寸直徑3.5um
(2).容易決定微小測量部位
(3).影像對焦系統
(4).凹凸樣品的凹下部位的測量
(5).再現性佳

 

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