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膜厚儀

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日本精工膜厚儀SFT-9400系列

 
 
日本精工膜厚儀SFT-9400系列
SFT9000系列中高級的機型「SFT9400系列」 搭載有75W高功率X射線管與雙檢測器(半導體檢測器+比例計數管),能滿足“薄膜鍍層”、“合金鍍層”、“超微小面積測量”等鍍層厚度測量需求的高性能鍍層厚度測量儀。 此外,SFT9400系列還在測量鍍層厚度的基礎上,新增了可對不同被測物體積材料進行定性分析和成分分析的功能。
 
儀器簡介:
SFT9000系列中高級的機型「SFT9400系列」
搭載有75W高功率X射線管與雙檢測器(半導體檢測器+比例計數管),能滿足“薄膜鍍層”、“合金鍍層”、“超微小面積測量”等鍍層厚度測量需求的高性能鍍層厚度測量儀。
此外,SFT9400系列還在測量鍍層厚度的基礎上,新增了可對不同被測物體積材料進行定性分析和成分分析的功能。


技術參數

序號
項 目
參 數
1
可測量元素
原子序數22(Ti)~83(Bi)
2
X射線源
小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶)
管電壓: 50kV 管電流: 1.5mA Be 窗
3
濾波器
一次濾波器:Mo
4
照射方式
上方垂直照射方式
5
檢測器
比例計數管+半導體檢測(無需液氮)
6
準直器
圓形:Φ0.015mm Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm
7
安全性能
樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動診斷功能
8
樣品圖像對焦方式
激光自動對焦
9
樣品觀察
彩色CCD攝像頭 倍率光學器 鹵素燈照明
10
樣品平臺大小及承重
SFT9400:240mm(W) ×170mm(D) 10kg
SFT9450:420mm(W) ×330mm(D) 5kg
SFT9455:700mm(W) ×600mm(D) 3kg
11
重量
SFT9400/SFT9450:125kg (不含電腦)
SFT9455:130kg(不含電腦)
12
修正功能
底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正
13
測量報告書制作
配備MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自動制作測量報告書) 測量能譜與樣品圖像保存功能



主要特點:
1. 搭載有高功率X射線管及雙檢測器(半導體檢測器+比例計數管)
可對應組合復雜的應用程序,特別是可識別Ni和Cu之類能量較為接近的元素。
能夠對Ni/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次濾波器的情況下進行測量
對于含Br的電路板,可以不受Br的干擾對Au的鍍層厚度進行高精度的測量
可測量0.01μm以下的超薄的Au鍍層厚度
2. 搭載塊體FP發軟件和薄膜FP法軟件
對應含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等,適用于廣泛的運用領域
3. 適用超微小面積的測量
標準配備的15μmΦ的準直器,可對超微小面積進行測量。
4. 搭載了可3段切換的變焦距光學系統
5. 搭載高精度樣品平臺,更可測量大型線路板(SFT9455)
6. 自動對焦功能
配備激光自動對焦功能,能夠準確對焦,提高測量效率。
7. 搭載測試報告自動生成軟件

 

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